PZT薄膜
PZT薄膜
PZT壓電薄膜
鋯鈦酸鉛薄膜
鈣鈦礦相PZT薄膜
硅基PZT薄膜
Pt-Si上面的PZT薄膜
PZT壓電薄膜
鍍PZT薄膜膜硅片、SOI片，規(guī)格可滿足4寸、6寸、8寸。
PZT鍍膜產品，具有成膜溫度低、成膜速率快、成膜均勻性好、壓電系數(shù)高、疲勞特性好等特點，廣泛應用于MEMS傳感器件，在壓電超聲波傳感器、壓電換能器、壓電執(zhí)行器中得到越來越多的應用，是下一代傳感器件的優(yōu)良材料。
同時我們可根據客戶的需求，定制SOI基片各層厚度及PZT成膜厚度，可進行批量加工。
用途：僅用于科研
類別：鐵電薄膜
相關薄膜：
ZnO/SiO2復合薄膜
SiO2/Si襯底制備ZnO薄膜
Ge/ZnO/SiO2薄膜
鈉鈣玻璃基底ZnO薄膜
Ti/Pt/ZnO復合薄膜
Ti/ZnO/Pt 復合薄膜
Pt/Ti/ZnO復合薄膜
