四:壓電MEMS超聲波換能器與生物識(shí)別技術(shù)
講師:上海思立微電子科技有限公司 研發(fā)工程師 黃景澤
超聲波換能器(MUT)在醫(yī)療成像、非破壞性檢測(cè)、距離檢測(cè)等方面得到了廣泛應(yīng)用。壓電MEMS超聲換能器(PMUT)因?yàn)榫哂畜w積小、功耗低、與CMOS兼容等優(yōu)點(diǎn),在手持電子設(shè)備、汽車等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景?；赑MUT的指紋識(shí)別傳感器不受溫度、環(huán)境光和干濕手指的影響,而且可以檢測(cè)到三維指紋信號(hào)(表皮和真皮指紋信號(hào)),從而具有更高的穩(wěn)定性和安全性。同時(shí),PMUT還可以應(yīng)用于飛行時(shí)間(ToF)傳感器和血壓傳感器等生物識(shí)別技術(shù)領(lǐng)域。
本課程主要針對(duì)PMUT以及超聲波生物識(shí)別傳感器的原理、設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試、應(yīng)用以及產(chǎn)業(yè)鏈情況進(jìn)行講解。
大綱:
(1)MEMS超聲波換能器基本概念及分類(PMUT、CMUT);
(2)壓電MEMS超聲波換能器(PMUT)結(jié)構(gòu)及工作原理;
(3)指紋識(shí)別傳感器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)(電容式、光學(xué)式和超聲波式);
(4)基于PMUT的指紋識(shí)別傳感器的關(guān)鍵技術(shù)(與CMOS單片集成的設(shè)計(jì)、制造和封測(cè)等);
(5)基于PMUT的指紋識(shí)別傳感器應(yīng)用領(lǐng)域及市場(chǎng)前景;
(6)基于PMUT的ToF傳感器設(shè)計(jì)與應(yīng)用;
(7)基于PMUT的血壓傳感器設(shè)計(jì)與應(yīng)用。
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