相比于低氣壓微波等離子體,大氣壓下微波放電具有密度大、活性高及產(chǎn)生設備簡單等優(yōu)異特征.但由于大氣壓下微波放電常呈現(xiàn)為流注形式,激發(fā)此環(huán)境下的微波放電需要很高的入射功率.因此,大氣壓微波放電的實現(xiàn)代價較高,實際應用較困難.針對大氣壓低功率微波放電難于實現(xiàn)的科學技術(shù)難題,本文重點陳述了大氣壓低功率微波等離子體源的研究現(xiàn)狀及其應用展望.首先綜述了國際上4類典型大氣壓低功率微波等離子體源的研究開發(fā)現(xiàn)狀,接著介紹了該領(lǐng)域數(shù)值計算方面的研究進展,然后探討了大氣壓低功率微波放電的物理機制,最后給出幾個工程應用實例,并對潛在的應用前景進行了展望.
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